更新情報
- 300x300mm、510x510mm、510x515mm、600x600mmのPanel FOUPの販売を開始しました※2024.12～
- 8インチ(MW200N)、12インチ(MW300GT)中古ウェハーケースが多数入荷しました※2024.11～
- 3インチ枚葉(材質PP)の在庫を開始、3インチ縦置き25枚用の在庫を強化しました※2024.3～
- 12インチプロトスキャリアに収納可能な非接触PPリングの販売を開始しました※2023.5～
- 12インチ中古洗浄済み(FOSB)品のパレット(1パレット40個)在庫を開始しました※2023.3～
- 2、4インチ枚葉(材質PP)、3インチ縦置き(材質PP)の在庫を開始しました※2022.4～
- 6、8インチ枚葉品(材質PC)の在庫を開始しました※2022.3～
- 6、8、12インチウェハーキャリア(材質PP、PEEK、PFA）13枚slotタイプ、バックサポートタイプの販売を開始しました※2021.4～
- 6インチ(MW150N)、8インチ(MW200N)洗浄品用通い箱の販売を開始しました※2020.9～
- 3インチ縦置き25枚用新品ウェハーケース、6,8,12インチ縦置き25枚用中古洗浄済み品が多数あります※2020.3～
- 角型(76mm角、100mm角、125mm角、150mm角)1枚用も対応可能となりました
洗浄ウェハーケース、Panel FOUP、工程用ウェハーキャリア
シリコンウェハー、ガラスウェハー、SiC、GaAs他化合物ウェハー搬送用ウェハーケース・大型基板の搬送用Panel FOUP・工程用(耐熱・耐薬品)ウェハーキャリアを在庫販売しております。ウェハーケースは枚葉・縦置き・平置き(プロトスキャリア)、Panel FOUPは300mm～600mm、ウェハーキャリアはPP(ESD)・PEEK・PFAより選択可能となり材質によっては13枚slot(倍ピッチ)もあります。ウェハーケース・工程用ウェハーキャリアの洗浄対応(クラス100レベル二重梱包)も承っております。
主な納入実績
デバイス、アッセンブリー、半導体製造装置、半導体材料各メーカー、大学研究室、行政機関
1. 枚葉(シングルウェハーシッパー、マスクケース)タイプ
| 項目 | Unit | 仕様 | ||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| サイズ | inch | φ1.5、2、3、4、6、8、12、□3、4、5、6、7、600x600mm | ||||||
| 個数 | lot | 1個～ | ||||||
| 備考 | 1. φ2、3、4、12インチはクラス1000レベルで製造しておりクラス100レベルでの洗浄も可能です | |||||||
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2. サイズによって材質(PP or PC)が異なります。4インチは多数の中古品があります |
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2. 縦置き(25枚用ウェハーケース・角型基板、Panel FOUP)タイプ
| 項目 | Unit | 仕様 | ||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| サイズ | inch/mm |
φ2、2.5、3、4、5、6、8、12 □76、100、125、150、300、510、510×515、600×600 |
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| 個数 | lot | 1個～ | ||||||
| 備考 | 1. 4、5、6、8インチはクラス1000レベルで製造しておりクラス100レベルでの洗浄も可能です | |||||||
| 2. 各サイズ多数の中古品(特に8インチ)および中古洗浄済み品を在庫しております | ||||||||
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3. 角型ガラス基板(76mm角・100mm角・125mm角・150mm角) 用、Panel FOUP(300mm角・510mm角・510x515mm・600x600mm)もあります |
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| 4. 6インチ t＝1mｍ以上(13枚収納)や4、5インチは標準より薄いウェハーを収納できるタイプもあります | ||||||||
3. 工程用ウェハーキャリア(ウェハーカセット)タイプ
| 項目 | Unit | 仕様 | ||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| サイズ | inch | 2～12 | ||||||
| 材質 | PP、PP(ESD)、PEI、PEEK、PFA、METAL | |||||||
| 個数 | lot | 2個～(※材質によって異なります) | ||||||
| 備考 | 1. 各種工程(帯電防止、耐熱、耐薬品)用途から選択が可能です | |||||||
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2. 4・6インチPP(ESD)12枚slot、8インチPEEK13枚slot、8・12インチPFA13枚slot、バックサポートタイプ、各種ハンドル大・小もあります |
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4. 平置き(プロトスキャリア)タイプ
| 項目 | Unit | 仕様 |
|---|---|---|
| 品名 |
MA-6S、MA-8S、MA-12、ND-6、ND-8、ND-12 |
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| 個数 | lot | 1個～(※ND-6～12は10個～) |
5. プロトスキャリア用スペーサーシート
| 項目 | Unit | 仕様 |
|---|---|---|
| 品名 | CPS-6-250,CPS-8-250,CPS-12-250 ※12インチ非接触対応PPリング有 | |
| 個数 | lot | 100枚～ |
6. プロトスキャリア用クッション材
| 項目 | Unit | 仕様 |
|---|---|---|
| 品名 | MA-6U-5,MA-8U-5,MA-12U-5 | |
| 個数 | lot | MA-6U-5×100個～、MA-8U-5×100個～、MA-12U-5×50個～ |
7. プロトスキャリア用エッジガード
| 項目 | Unit | 仕様 |
|---|---|---|
| 品名 | EG-475X38-400,EG-565X38-400,EG-900X44-400 | |
| 個数 | lot | 100枚～(受注生産) |
チップトレイ(ワッフルトレイ)、ゲルパック
シリコン、ガラス等のチップ加工品の収納・搬送に使用します。チップサイズに適したトレイを在庫販売しております。また粘着特性があるゲルパック(VRシリーズ)も一部在庫しております。真空ピンセットを使い容易にチップを取り外す事が出来ます。
1. チップトレイ(ワッフルトレイ)
| 項目 | Unit | 仕様 | ||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| サイズ | inch | 2、4 | ||||||
| 材質 | ABS、ポリカーボネート、帯電品、導電品 | |||||||
| 規格 | mm | 0.4、1、2、3、5、10、15、20、25、40等 | ||||||
| 備考 | 1. 在庫品リスト(正方形・長方形多品種)あります | |||||||
| 2. チップトレイカバー、クリップ、チップトレイ用スペーサー(帯電・導電)も在庫しております | ||||||||
2. ゲルパック(真空タイプ)
| 項目 | Unit | 仕様 |
|---|---|---|
| サイズ | inch | 2,4 |
| シリーズ | VR | |
| 材質 | ABS、ポリカーボネート、帯電品、導電品 | |
| 保持力 | XT,XL,X4,X8 | |
| メッシュ | ♯16、♯33、♯76、♯103、♯137、♯195 | |
| 静電対策 | C・AS(※T静電無し) | |
| 真空治具 | VHP-24(ハンドタイプ),VRS-24(自動タイプ) | |
| 個数 | lot | 都度相談、一部在庫有 |
その他の販売商品
- マニュアルピンセット・真空ピンセット
- 真空ポンプ
- リードフレームマガジン
- 海外製ウェハーキャリア購入代行(アメリカ、イスラエル、台湾他)