シリコンウェハー(ミラー・ダミー・モニター)在庫販売

シリコンウェハー(ミラー・ダミー・モニター)在庫販売

更新情報

  • 4インチノンドープ≦1,000Ωcm、12インチ低パーティクル65nm≦50の在庫販売を開始しました※2023.12
  • 8インチダミーウェハーの在庫数を増やしました※2023.12~
  • 12インチ低パーティクル90nm≦50の在庫販売を開始しました※2022.2~
  • 6インチ≧500μm、8インチ≧600μm、≧680μmのミラーウェハー在庫販売を開始しました※2021.1~
  • 特殊ウェハー(FZ 30x30mm、t=10mm、200x40mm、t=40mm等)の対応も小lotから可能です ※2020.1~
  • 4インチ525±25μmコインロール品の入荷が再開となりました※2019.10~
  • シリコンウェハートレイ(ザグリ加工治具)製作が可能となりました※2017.10~
  • パーティクル測定用シリコンウェハーの洗浄受託(クラス1000レベル)が対応可能となりました※2017.4~
  • 1,000~2,000μmレーザーマーク刻印品(ハードorソフト)が可能となりました※2015.11~
  • 2~8インチ低抵抗(≦0.001Ωcm)、高抵抗ウェハー(ノンドープ≧1,000Ωcm、≧10,000Ωcm)の新規製造が25枚lot~可能となりました。※2015.6~
  • 8、12インチプライムウェハーおよび18インチ(450mmウェハー)の新規製造が可能となりました※2014.5~

2~12インチのミラーウェハー、ダミーウェハー・モニターウェハーを各種幅広く在庫しており用途に合わせて少量から販売致します。インゴットを保有しており厚物(1,000μm~)、薄物(100μm~)、両面ミラー、面方位110、低抵抗(0.001Ωcm~)、高抵抗(ノンドープ≧1,000Ωcm~)、ザグリ加工等の特殊加工品も承っております。在庫品は営業日午前中にご注文を頂ければ「当日出荷」も可能です。

  • ミラーウェハー・・・ダイシングブレードのプリカット条件出し用、BG加工の条件出し用、装置動作のテスト用など
  • ダミーウエハー/モニターウェハー・・・装置動作のテスト用(成膜・レジスト・フォトリソ・エッチングの条件出し評価、パーティクル測定、搬送評価など)

主な納入実績

デバイス、アッセンブリー、半導体製造装置、半導体材料各メーカー、大学研究室、行政機関

※シリコンウエハーのBG・ダイシング加工、受託成膜も対応致します。

ミラーウェハー標準在庫品仕様

項目 Unit 仕様
サイズ inch 2 3 4 5 6 8 12
厚さ μm 280±25 380±25 525±25 625±25 450±25
≧500
625±25
≧600
725±25
775±25
面状態

 

片面ミラー 両面ミラー
オリフラ   オリフラ オリフラorVノッチ Vノッチ
タイプ   不問
面方位   不問
抵抗値 Ωcm 不問
パーティクル   不問
枚数 lot 5枚~ ※2インチ、3インチは25枚
梱包   コインロール(袋詰め重ね合わせ)、ケース梱包指定可
                 
備考  

用途によって評価用無償サンプルの対応も致します。

 

ダミーウェハー(モニターウェハー)標準在庫品仕様

項目 Unit 仕様
サイズ inch 2 3 4 5 6 8 12
厚さ μm 280±25 380±25 525±25 625±25 625±25 725±25 750±50
775±25
面状態

 

片面ミラー 両面ミラー
オリフラ   オリフラ オリフラorVノッチ Vノッチ
導電型   P or N
面方位   <100> ※<111>インチによって在庫有
抵抗値 Ωcm 1~100 ※≧1,000Ωcmインチによって在庫有
パーティクル   0.3μm≦10、0.3μm≦20、0.2μm≦30、0.2μm≦50  ※6,8,12インチは低パーティクル品有
枚数 lot 25枚(※端数あり)
                 
備考   1、標準品4,6,8インチは安価品、2,4,6,8,12インチは端数在庫(パーティクル不問)があります
  2、2~6インチはインゴットから加工した両面ミラー、面方位110、低抵抗(≦0.001Ωcm、0.001Ωcm~、0.01Ωcm~)、ノンドープ高抵抗(≧1,000Ωcm、 ≧5,000Ωcm、 ≧10,000Ωcm~)など端数在庫が多数ありますので少量から販売致します

 

特注品

項目 Unit 仕様
サイズ inch 2~8
製法   CZ or FZ(ノンドープ)
厚さ μm 150~3,000
導電型   P型/Bドープ、N型/Pドープ or Sbドープ
面方位   <100>、<111>、<110>
抵抗値 Ωcm ≦0.001、0.001~、0.01~、1~、100~、ノンドープ(≧1,000、≧5,000 、≧10,000)
枚数 lot 25枚
その他   両面ミラー、両面エッチング、TTV/BOW/WARP 指定可

 

特注品製作の一例

  • 6インチシリコンウェハーザグリ治具 φ100(±0.2)xD0.3(±0.025)、ザグリ底部角R0.2程度
  • 8インチシリコンウェハーザグリ治具 φ76.33(±0.2)xD0.35(±0.05)、オリフラ(≦20.08)x3箇所
  • 2インチ φ20mm、 □20mm角穴あけ加工品
  • 2インチ FZ、500±20μm、片面ミラー、ノンドープ、面方位100、抵抗値≧1,000Ωcm、熱酸化膜30,000Å
  • 2インチ 430±20μm、片面ミラー、N型、面方位111、抵抗値0.05~0.5Ωcm
  • 3インチ 1,000±20μm、両面ミラー、P型、面方位100、抵抗値≦0.001Ωcm
  • 3インチ 300±20μm、片面ミラー、P型、面方位100、抵抗値0.5~1.5Ωcm
  • 3インチ 775±25μm、両面ミラー、P型、面方位100、抵抗値1~100Ωcm
  • 3インチ FZ、380±20μm、両面ミラー、面方位100、ノンドープ≧5,000Ωcm
  • 4インチ FZ、600±20μm、片面ミラー、面方位100、ノンドープ≧10,000Ωcm
  • 4インチ 525±20μm、片面ミラー、P型、面方位100、抵抗値0.0007~0.001Ωcm
  • 4インチ 150±10μm、両面ミラー、N型、面方位110、抵抗値≧1Ωcm
  • 4インチ 400±20μm、片面ミラー、N型、面方位100、抵抗値≦0.001Ωcm
  • 4インチ 525±25μm、片面ミラー、P型、面方位100、抵抗値0.001~0.002Ωcm
  • 4インチ 300±25μm 、両面ミラー、N型、面方位100、抵抗値90~130Ωcm
  • 4インチ    500±25μm、両面ミラー、P型、面方位100、抵抗値≧1Ωcm、熱酸化膜20,000Å
  • 4インチ 525±25μm、片面ミラー、反り≦20μm、TTV≦5μm
  • 4インチ FZ、500±20μm、両面ミラー、面方位110、ノンドープ≧1,000Ωcm、熱酸化膜1,000Å
  • 6インチ 1,000±25μm、両面ミラー、P型、面方位100、抵抗値0.01~0.02Ωcm、熱酸化膜10,000Å
  • 6インチ  625±25μm、片面ミラー、P型、面方位110、抵抗値0.005~0.01Ωcm
  • 6インチ  675±20μm、片面ミラー、Vノッチ、P型、面方位100、抵抗値≧1Ωcm
  • 6インチ  625±25μm、片面ミラー、オリフラ(方位100、2nd付)、P型、面方位111、抵抗値1~10Ωcm
  • 6インチ  FZ、625±25μm、片面ミラー、N型、面方位111、抵抗値60~70Ωcm
  • 8インチ 725±25μm、片面ミラー、N型、面方位100、抵抗値0.001~0.005Ωcm
  • 8インチ 725±25μm、片面ミラー、N型、面方位111、抵抗値≧1Ωcm
  • 8インチ    725±20μm、両面ミラー、N型、面方位100、抵抗値8~12Ωcm
  • 8インチ 1,200±25μm、両面ミラー、オリフラ、P型、面方位100、抵抗値100~200Ωcm
  • 12インチ 775±25μm、両面ミラー、P型、面方位100、TTV≦1μm、抵抗値1~100Ωcm 枚葉データ付
  • 12インチ 1-φ0.2mm穴あけ加工
  • 30x30mm、FZ、t=10mm
  • 200x40mm、FZ、t=40mm
  • レーザーマーク刻印品(ハードorソフト)対応