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【電子材料グループ】
※ダイシングテープとセットでデモ可能です。 ⇒ お問い合わせはコチラ
UV照射装置ブラックライトタイプ テープマウンター・マニュアルタイプ テープマウンターセミオートタイプ その他の商品
 
  



・ブラックライト(蛍光灯)採用
※ブラックライトFL15BLB(東芝・NEC)の在庫もあります
・簡単操作
・軽量コンパクト
・窒素用圧力計、計量計装備
・ダイシングフレーム5,6,8,12インチ対応
・各種UVテープ対応
・容易なランプ交換
・低ランニングコスト

■仕様

ワーク Φ8インチダイシングフレーム
UVランプ ブラックライト(蛍光灯)
波長 350〜360nm付近
ワークステージ 窒素チャンバー付
ワーク位置決め ザクリに落とし込み
照射時間 任意設定
冷却 なし
窒素 任意導入
装置寸法 430(W)×540(D)×240(H)
装置重量 20kg

■ユーティリティ

窒素 0.2MPa以上 10l/分以下 Φ6ミリ継手
電源 AC100V 50/60Hz 5A 3Pプラグ

特商法の表記


  




・マニュアル式
・高温での貼付に対応
・「貼付ミス」のない貼付方式
・PETテープに対応
・ウェハー外周の円カット方式
・貼付ローラーに圧力可変機構
・吸着固定の確認用に真空計を標準装備

■仕様

ワーク ダイシングテープ5,6,8,12インチ対応
貼付テープ 各種ロールテープ
ワークステージ テフロンコート全面接触型
真空吸着式
ワーク位置決め ケガキ線による
目視合わせ方式
ワーク
ステージ温度
常温〜60℃
貼付ローラー ウレタンゴム
貼付圧力 圧力可変、
最大10kg/ローラー
円カッター ウェハー外周の
テープカット
直線カッター ロール側との切り離し
テープ
セパレーター
自動巻取り機構
装置寸法 480(W)×635(D)×360(H)mm
装置重量 20kg
※ダイシングテープ8インチサイズは寸法が変わります。

■ユーティリティ

真空 -60kPa以下 Φ6クイック継手
又はドライエラー 0.4〜0.5MPa Φ7クイック継手
電源 AC100V 50/60Hz 5A 3Pプラグ

特商法の表記

  


・セミオート方式
・貼付圧力の数値設定&モニター
・貼付速度の数値設定&モニター
・ステージ温度の数値設定&モニター
・真空の数値モニター
・エアー圧力の数値モニター
・ウェハー単体で12インチ対応
・ダイシングフレームで8,12インチ対応
・PETを含む各種テープ対応
・コンパクト、卓上型

■仕様

ワーク Φ12インチウェハーまで
または、ダイシングフレーム
8インチまで
貼付テープ 各種ロールテープ
ワークステージ テフロンコート全面接触型、
真空吸着式
ワーク位置決め ケガキ線による目視合わせ方式
ワークステージ
温度
常温〜60℃
貼付ローラー シリコンゴム
貼付圧力 圧力可変、最大12kg/ローラー
円カッター ウェハー外周カット
または、ダイシングフレーム
上カット
直線カッター ロール側との切り離し
テープ
セパレーター
自動巻取り機構
装置寸法 850(W)×550(D)×470(H)mm
装置重量 50kg

■ユーティリティ

真空 60kPa以下
ドライエアー 0.3〜0.6MPa
電源 AC100V 50/60Hz 5A 3Pプラグ

特商法の表記

  
セミオートプリカットテープマウンター(新製品)  

 
 
テープエキスパンダー  
 
■ 主な納入実績     デバイス、アッセンブリー、ガラス加工各メーカー、大学研究室
※ ダイシングデープとセットでデモ可能です。お問い合わせはコチラ
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