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グローバル・トップ・ケミカル | 光表面処理・UVオゾン洗浄装置
【電子材料グループ】
表面改質・乾式洗浄実験に最適です!
※現在デモ機・中古機が数台あります。オーバーホールの後、安価にてご提供する事も可能です。
レンタルも承ります!!
はじめに

UVオゾン洗浄装置は、UVランプ(オゾンランプ)による固体の表面改質・乾式洗浄・有機物除去の効果を、試験するための洗浄機です。
光源には公称110W合成石英ガラス製の160mm角の面光源を採用しています。

本実験機は、
  • 前面は片開きの扉で間口は広く、試料の出し入れが簡単です
  • 光源までの距離は、特製ラボジャッキを使って、任意に変えることが出来ます。
  • UV照度はオプションのUV照度計で測定できます。
  • 照射装置内のオゾンガスは、付属の外置きブロワで排出します。
  • 本体と電源は独立し、各々の重量も軽いので、持ち運びが楽に出来ます。
  • ウェハー、ガラス基板の洗浄やワークの密着性向上、ヌレ性改善の用途で実績があります

  • 200mm角、300mm角、400mm角の面光源を組み込んだ、両面照射タイプ、試料台が引出式、加熱機構(250℃)などカスタムに対応します


  • 1.構造と構成

    照射装置と電源

    写真1.照射装置(ランプ点灯中)
    写真2.照射装置(扉開)
    写真1.照射装置(ランプ点灯中) 写真2.照射装置(扉開)
    図1.電源外観
    図1.電源外観
    図2.照射装置内部構造
    図2.照射装置内部構造

    図2.は横から見た照射装置の内部構造を示しています。
    • 光源とステージの間は、最大80mmの距離がありますので、フィルム状の物から立体成型物まで処理できます。
    • 照射距離は手動のラボジャッキで調整出来ます。
    • 扉には大きな覗き窓があるので、実験をしながら照射状態など中の様子を見る事が出来ます。
    • 185nmと254nmの短波長UVは一切通過しないので、窓を通して中を覗いても安全です。
    • 扉には測定器のコードが通る貫通口を設けています。

    2.主仕様

    照射装置と電源の主仕様を、表1に示します。

    表1主仕様一覧表
    項 目 仕 様


    寸  法
    重  量
    電源入力
    入力電力
    160×525×150 H(mm)
    8Kg
    AC 100V単相50/60 Hz
    210W(ブロワ含む)
    アワーメーター
    照射タイマー
    ランプ寿命管理用(リセット機能有)7桁表示
    照射時間設定範囲0.1S〜999h



    寸法
    重量
    300×250×300 H(mm)
    10 Kg
    光源一試糾台距離
    試 料 台
    試料台寸法
    ランプ面寸法
    ランプ型名
    ランプワット数
    O〜80mm(手動式ラボジャッキ調整)
    ステンレス平板、手動式ラボジャッキ支持(非固定)
    160×160(mm)
    160×160(mm)
    SUV110GS-34、SUV110GS-36、SUV110GL-36(材質:合成石英ガラス)
    定格110W(実ワット95W)
    冷 却
    ダクトホース

    強制空冷(ブロワ外置き)
    ・ φ75×2500(mm)(光源−ブロワ間)<付属品>
    ・ φ50×2500(mm)(ブロワ出口用)<">
    3.光表面処理装置用交換ランプ

    UVオゾン洗浄装置用交換ランプのみの販売も可能です。

      UVオゾン洗浄装置用交換ランプ 型名:SUV110GS-36
    型名:SUV110GS-34、SUV110GS-36、SUV110GL-36(オゾンレスタイプ)
     

    特徴

    • UVオゾン洗浄装置用専用ランプです。
    • コンパクトで高出力です。
    • 照射エリアは150mm角です。
    • ランプ寿命は、おおよそ、7,000〜8,000時間です。
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    光表面処理装置用交換ランプ