洗浄ウェハーケース・ウェハーキャリア・チップトレイ

更新情報

シリコンウェハー、ガラスウェハー、SiC、GaAs他化合物ウェハーの搬送用ケースを在庫販売しており枚葉、縦置き(出荷用・工程用)、平置き(プロトスキャリア)から選択可能です。材質はPP・PCとなり枚葉・縦置きは洗浄対応(クラス100レベル二重梱包)も承っております。

デバイス、アッセンブリー、半導体製造装置、半導体材料各メーカー、大学研究室、行政機関

項目	Unit	仕様
サイズ	inch	1.5、2、3、4、6、8、12
個数	lot	1個～

備考		1. 2、3、4、12インチはクラス1000レベルで製造しておりクラス100レベルでの洗浄も可能です
備考		2. サイズによって材質(PP or PC)が異なります。4インチは多数の中古品があります

項目	Unit	仕様
サイズ	inch	2、2.5、3、4、5、6、8、12(※12インチはFOSB・FOUP対応可能)
個数	lot	1個～

備考		1. 4、5、6、8インチはクラス1000レベルで製造しておりクラス100レベルでの洗浄も可能です
		2. 各サイズ多数の中古品および中古洗浄済み品を在庫しております
		3. 角型ガラス基板(76mm角・100mm角・150mm角)を収納できるタイプもあります
		4. 6インチ t＝1mｍ以上(13枚収納)や4、5インチは標準より薄いウェハーを収納できるタイプもあります

項目	Unit	仕様
サイズ	inch	2～12
材質		PP(ESD)、PEI、PEEK、PFA、METAL
個数	lot	2個～(※材質によって異なります)

備考		1. 帯電防止、耐熱、耐薬品用から選択が可能です
備考		2. PEEK、PFA13枚収納、バックサポートタイプもあります

項目	Unit	仕様
品名		MA-6S、MA-8S、MA-12、ND-6、ND-8、ND-12
個数	lot	1個～(※ND-6～12は10個～)

項目	Unit	仕様
品名		CPS-6-250,CPS-8-250,CPS-12-250　※12インチ非接触対応PPリング有
個数	lot	100枚～

項目	Unit	仕様
品名		MA-6U-5,MA-8U-5,MA-12U-5
個数	lot	MA-6U-5×100個～、MA-8U-5×100個～、MA-12U-5×50個～

項目	Unit	仕様
品名		EG-475X38-400,EG-565X38-400,EG-900X44-400
個数	lot	100枚～(受注生産)

シリコン、ガラス等のチップ加工品の収納・搬送に使用します。チップサイズに適したトレイを在庫販売しております。また粘着特性があるゲルパック(VRシリーズ)も一部在庫しております。真空ピンセットを使い容易にチップを取り外す事が出来ます。

項目	Unit	仕様
サイズ	inch	2、4
材質		ABS、ポリカーボネート、帯電品、導電品
規格	mm	0.4、1、2、3、5、10、15、20、25、40等

備考		1. 在庫品リスト(正方形・長方形多品種)あります
備考		2. チップトレイカバー、クリップ、チップトレイ用スペーサー(帯電・導電)も在庫しております