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グローバル・トップ・ケミカル|ダミーウエハー(ミラーウエハー)
【電子材料グループ】
装置テスト稼動、試作などに最適なシリコンウエハ、ダミーウエハを販売・成膜しております。

※シリコンウエハーのBG加工、成膜加工、ダイシング加工販売も致します。→詳しくはコチラ

シリコンウエハーシリコンウエハー
シリコンウエハー(ミラーウエハー、ダミーウエハー)の主な仕様
 
用 途 ミラーウエハー・・・ダイシングブレードのプリカット条件出し用(目立て)、BG加工の条件出し用、装置動作のテスト用など
ダミーウエハー・・・装置テスト用(成膜・レジスト・エッチングの条件出し評価、パーティクル測定、搬送評価など)
※対応素材:シリコン、GaAs、SOI、サファイア、SIC、Ge、GAN、ガラスなど
サイズ 2〜12インチ対応化
鏡 面 片面ミラー、両面ミラー、バックグラインド(BG)、ポリッシング仕上げ対応化
特性 結晶方位(100,110,111,211)、抵抗値(0.001〜100Ωcm、ノンドープ1000Ωcm以上)、P型 or N型、パーティクルダストフリー(0.2μm、0.3μm以下)、TTV、BOW、WARPの指定、
オリフラ、
Vノッチ
長さ指定等可(6インチJEIDA or SEMI、8インチオリフラ、Vノッチ方位指定など)
枚 数 ※2インチ(280±25μm)・・・25枚〜
 3インチ(380±25μm)・・・25枚〜
 4インチ(525±25μm)・・・25枚〜
 5インチ(525±25μm、625±25μm)・・・25枚〜
 6インチ(450±25μm、625±25μm、675±25μm)・・・25枚〜
 8インチ(725±25μm)・・・25枚〜
 12インチ(775±25μm)・・・25枚〜
※2〜6インチは150〜400μmの端数品在庫があります
※2〜6インチは厚物品(1,000μm〜3,000μm)、低抵抗(≦0.05Ωcm)、ノンドープ高抵抗(≧1,000Ωcm)の端数品在庫があります
※ご要望に応じて少数(3枚〜)より販売します
※2、3、4、5、6、8、12インチのミラーウェハー・ ダミーウェハー・モニターウェハー
の標準品は常時「在庫」しております。(※モニターウェハーは経過品あり)
ミラーウェハーに限りご要望に応じて評価用サンプルの対応も致します。仕様・枚数によって「価格」が異なりますのでお問合わせ下さい
梱 包 ウェハーケース梱包、ウェハーケース洗浄梱包、重ね合わせ袋詰め(コインロール)など指定があれば申しつけください。
シリコンウェハーシリコンウェハー 
New!
  • パターン・バンプ・成膜ウエハー対応可能となりました(熱酸化膜、Al蒸着、金メッキ(Au)、銀メッキ(Ag)、Ti、Sinなど)
  • ワイヤーボンディング・モールド実装評価用のAl蒸着膜(5,000Å)ウェハー(6,8インチ)の在庫を開始しました(25枚〜)※2009.12〜
  • 膜付きウェハーの再生加工(膜除去・薬液エッチング)が可能となりました(Sio2、AL、Tiなど)※2011.3〜
  • 2〜12インチウェハーへの成膜(Cr・Al・Cu・Au・Ag・Ti・Tio2・Ni・MO・Sin,Pt,Pl,ITOなど)、めっき(Ni,Au,Ag,Cuなど)、フォトマスク、パターニング、ウエットエッチング、TEGウェハーが5枚程度から対応可能となりました※2011.7〜
  • 2,3,4,6インチGaAs(ガリ砒素)ウェハー、2,3,4,6,8インチSOIウェハー、2,3,4,6インチサファイア基板、SICウェハーの販売を開始しました(在庫があれば1枚〜)※2011.10〜
  • 6インチ(625+25、−45μm)、8インチ(600〜700μm)、12インチ(700〜750μm)各種モニターグレード品を安価で販売します。成膜評価・パーティクル測定評価で好評です※2013. 7〜
  • 8インチオリフラ(SEMI)ウェハーが大量に入荷しましたので安価で販売します※2013. 7〜
  • 4インチウェハー、面方位211が販売可能となりました※2013. 11〜
  • 6インチAl膜ウェハー(10,000Å)x5枚バラで販売が可能です。ワイヤーボンディング評価用で多数採用されております※2013. 11〜⇒終売となりました
  • 成膜評価・装置測定評価用3インチ、4インチ、5インチ、6インチ、8インチ,12インチの各種パーティクルダストフリーモニター品(0.2〜0.3μm 30個以下)ダミーウェハー(再生品含む)の在庫数を強化。即納可能です※2014.4〜
  • 8、12インチプライムウェハーおよび18インチ(450mmウェハー)の新規製造が可能となりました※2014.5〜
  • 6インチパターン付きウェハーx100枚、8インチパターン付きウェハーx25枚が入荷しました。貸し出し可能です※2014.6〜
  • 2〜12インチダミーガラス基板(ソーダガラス、無アルカリガラス イーグルXG、合成石英、テンパックス、パイレックス)クラス1000クリーンルームでの製作対応(オリフラ・Vノッチ付)が可能となりました※2014.7〜
  • 2,3,4,5,6,8インチ150〜3,000μmまでのシリコンウェハー端数品の在庫がありますので少量販売・即日発送が可能です※2014.12〜
  • 8インチダミーウェハー(ノッチ方位110)が1,000枚入荷しました※2015.2〜⇒終売となりました
  • アルミ(Al)ダミーウェハー安価品が大量に入荷しました。サンプル対応可能です※2015.3〜
  • 4インチダミーウェハーP型・N型(面方位100)はお問合わせが多い為、在庫数を強化。即納可能です※2015.3〜
  • 2〜4インチ低抵抗(≦0.002Ωcm)、高抵抗ウェハー(ノンドープ≧1,000、10,000Ωcm)の新規製造が可能となりました。※2015.6〜
  • 1,000〜2,000μmレーザーマーク刻印品(ハードorソフト)が可能となりました※2015.11〜
  • 8インチモニターグレード品が500枚入荷しました※2015.12〜⇒終売となりました
  • 8インチEPIウェハーが大量に入荷しましたので安価で販売します※2016.2〜
  • ミラーウェハーチップ加工品5x5mm、10x10mm、15x15mm、20x20mm、25x25mm、50x50mmを在庫。少量より販売します※2016.5〜
  • 12インチモニターテストグレード品の在庫数を強化しました※2016.7〜
  • 2インチGAN基板(1枚〜)、2インチGe基板(1枚〜)の販売を開始しました※2016.9〜
  • 2インチダミーサファイア基板(25枚〜)が大量に入荷しました※2016.11〜
  • 需要増に伴い12インチウェハー全てのグレードが4月以降値上げとなります※2017.2〜
  • パーティクル測定用ウェハーのリサイクル洗浄が対応可能となりました※2017.4〜
  • 需要増に伴いモニターウェハー8インチ≧680μm、12インチ≧700μmの在庫数を強化しました。※2017.6〜
  • 12インチウェハー全てのグレードが8月以降2回目の値上げとなります※2017.6〜
  • シリコンウェハーザグリ加工治具製作が可能となりました※2017.10〜
ウエハーケースの販売
  ウェハーケースウェハーケースウェハーケース   ウェハーケースウェハーケース
 
  • 各種ウエハーケース(縦置き25枚用、平置き25枚用、1枚入り)を、1個から販売致します。
  • サイズは2、3、4、5、6、8、12インチ用となります。
  • 2〜12インチのウェハーケース(1枚用・縦置き25枚用)を超純水で洗浄しパーティクル管理をしたクリーン梱包も可能です。
ダイシングフレーム、フレームシッパー、フィルムフレームシッパー、ウェハーカセットの販売
 
  • ダイシングフレーム(SUS・Al)・・・5、6、8、12インチウェハー用(※8インチは安価品が多数あります。評価用サンプルの提供も可能です。)
  • ダイシングフレームシッパー、フィルムフレームシッパー(1枚入・25枚入)・・・6、8、12インチ用
  • ウェハーカセット・・・6、8、12インチ用
  ダイシングフレームダイシングフレーム
主な納入実績

デバイス、アッセンブリー、半導体製造装置、半導体材料各メーカー、大学研究室、行政機関


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